環(huán)境掃描電鏡 Prisma E SEM 產(chǎn)品規(guī)格：

分辨率在高真空、低真空和 ESEM 的 30 kV 下為 3.0 nm

在 3 kV（BSED、樣品臺(tái)減速）下為 7.0 nm

標(biāo)準(zhǔn)檢測(cè)器

ETD、低真空 SED (LVD)、 ESEM SED (GSED)、紅外CCD

可選檢測(cè)器

Thermo Scientific Nav-Cam+ 攝像機(jī)、DBS、DBS-GAD、ESEM-GAD、STEM 3+、WetSTEM、RGB-CLD、EDS、EBSD、WDS、拉曼、EBIC 等

ChemiSEM 技術(shù)（可選）

可基于能量色散 X 射線光譜 (EDS) 進(jìn)行實(shí)時(shí)定量 元素面分布。包含點(diǎn)分析、線掃描、面分布及元素定量。

樣品臺(tái)減速（可選）

 -4,000 V 至 +50 V

低真空模式

高達(dá) 2,600 Pa (H2O) 或 4,000 Pa (N2)

樣品臺(tái)

5軸馬達(dá)優(yōu)中心樣品臺(tái)，110 x 110 mm2，105° 傾斜范圍。

最大樣品重量：未傾斜位置，5 kg。

標(biāo)準(zhǔn)樣品支架

標(biāo)準(zhǔn)多樣品 SEM 支架可單獨(dú)安裝

在載物臺(tái)上，可容納多達(dá) 18 個(gè)標(biāo)準(zhǔn)樣品托 (? 12 mm)，

無需工具即可安裝樣品

樣品倉(cāng)

340 mm 內(nèi)寬，12 個(gè)接口，最多可接三個(gè) EDS 檢測(cè)器（兩個(gè)呈 180°對(duì)稱），并具有與共面 EDS共面的EBSD接口。

原位配件（可選）

軟件控制的 -20°C 至 +60°C Peltier 冷臺(tái)

軟件控制的 1,000°C 低真空/ESEM 熱臺(tái)

軟件控制的 1,100°C 高真空熱臺(tái)

軟件控制的 1,400°C 低真空/ESEM 熱臺(tái)

集成氣體注入系統(tǒng)：用于下列材料的電子束誘導(dǎo)沉積，最多支持2種氣體（其他配件可能限制可用的注氣系統(tǒng) (GIS) 數(shù)量）：

鉑、鎢、碳

納米機(jī)械手

液氮致冷臺(tái)

電子探針/多探針臺(tái)

軟件選項(xiàng)

Thermo Scientific Maps 軟件可進(jìn)行大面積圖像自動(dòng)采集和拼接，并可與其它設(shè)備聯(lián)用

Thermo Scientific AutoScript 4 軟件；基于 Python 的應(yīng)用程序編程界面

圖形發(fā)生軟件

TopoMaps 軟件用于圖像著色及分析和 3D 表面重建