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半導(dǎo)體檢查顯微鏡

進(jìn)口顯微鏡，奧林巴斯顯微鏡

型號(hào)：MX61L

品牌：奧林巴斯Olympus

產(chǎn)地：日本

遵循標(biāo)準(zhǔn):

簡(jiǎn)介:

本{content.title}的特點(diǎn)：能對(duì)應(yīng)300 mm晶圓和17英寸FPD玻璃基板的電動(dòng)型號(hào)（反射透射兼用）應(yīng)對(duì)明視場(chǎng)觀察到熒光觀察的多種觀察方法。切換物鏡時(shí)自動(dòng)調(diào)節(jié)連動(dòng)的亮度光圈等，實(shí)現(xiàn)了舒適的檢查環(huán)境。配備14×12英寸載物臺(tái)，能應(yīng)對(duì)大型樣本。

半導(dǎo)體檢查顯微鏡產(chǎn)品介紹

半導(dǎo)體檢查顯微鏡MX61L

能對(duì)應(yīng)300 mm晶圓和17英寸FPD玻璃基板的電動(dòng)型號(hào)（反射透射兼用）

應(yīng)對(duì)明視場(chǎng)觀察到熒光觀察的多種觀察方法。切換物鏡時(shí)自動(dòng)調(diào)節(jié)連動(dòng)的亮度光圈等，實(shí)現(xiàn)了舒適的檢查環(huán)境。配備14×12英寸載物臺(tái)，能應(yīng)對(duì)大型樣本。

半導(dǎo)體／FPD檢查顯微鏡MX61L

觀察影像實(shí)例

晶圓（明視場(chǎng)觀察）晶圓（暗視場(chǎng)觀察）

晶圓（微分干涉觀察）彩色濾色片（透射觀察）

半導(dǎo)體檢查顯微鏡技術(shù)參數(shù)

半導(dǎo)體／FPD檢查顯微鏡 MX61L 規(guī)格
光學(xué)系統(tǒng)			UIS2光學(xué)系統(tǒng)（無限遠(yuǎn)校正）
機(jī)身	觀察方法		明視場(chǎng)/暗視場(chǎng)/微分干涉/簡(jiǎn)易偏振光/熒光
	反射/透射		反射/透射
	照明裝置		機(jī)身一體型（明視場(chǎng)，暗視場(chǎng)＋1選件）
	照明系統(tǒng)	反射照明	100 W鹵素/100 W水銀/75 W氙
		透射照明	纖維光導(dǎo)
	對(duì)焦單元	電動(dòng)/手動(dòng)	手動(dòng)
		行程	32 mm
		分辨率/微調(diào)靈敏度	微調(diào)旋鈕轉(zhuǎn)動(dòng)1周移動(dòng)0.1 mm
		最大樣本高度	30 mm
	物鏡轉(zhuǎn)換器	電動(dòng)型	明視場(chǎng)微分干涉6孔明暗視場(chǎng)微分干涉5孔明暗視場(chǎng)微分干涉6孔明暗視場(chǎng)微分干涉中心輸出5孔
		手動(dòng)式	-
載物臺(tái)	行程		14×12 英寸右下手柄：356（X）×305（Y）mm（透射照明范圍356×284 mm）
觀察筒	廣角視場(chǎng)（視場(chǎng)數(shù)22）	倒置	雙目/三目觀察筒
		正像	三目觀察筒
	超寬視場(chǎng)（視場(chǎng)數(shù)26.5）	倒置	三目觀察筒
		正像	傾斜三目觀察筒
附件單元		DUV單元/IR單元/電動(dòng)載物臺(tái)/自動(dòng)裝載
外形尺寸		710（W）×843（D）×507（H）mm（標(biāo)準(zhǔn)組合）
重量		51 kg（標(biāo)準(zhǔn)組合）

半導(dǎo)體檢查顯微鏡標(biāo)準(zhǔn)配置

配置
序號(hào)	名稱	數(shù)量
1	主機(jī)	1
2	光學(xué)系統(tǒng)	1
3	照明裝置	1
4	對(duì)焦單元	1
5	物鏡轉(zhuǎn)換器 5孔；6孔	1
6	載物臺(tái)（可選）電動(dòng)載物臺(tái)；自動(dòng)裝載	1
7	觀察筒（可選）廣角視場(chǎng)；超廣角視場(chǎng)	1
8	附件單元 DUV單元；IR單元	/

半導(dǎo)體檢查顯微鏡可選配件

半導(dǎo)體檢查顯微鏡相關(guān)視頻

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半導(dǎo)體檢查顯微鏡資料下載

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